Aarhus University Seal / Aarhus Universitets segl

WPA/APV

CLEANROOM – iNANO

 

ATEX APV ved ventilations/udsugningsstop

 

Document Responsible: Pia Bomholt Jensen/Arne Nylandsted Larsen

Date: 23.01 2014

1)      Formål

Formålet med denne ATEX APV for renrummet i tilfælde af ventilations/udsugningsstop er at sik­re, at alle brugere af renrummet er informeret om de risici der er forbundet med et ventila­ti­ons/udsugningsstop i renrummet.

2)    Renrummet

Renrummet omfatter 120 m. Rummet holdes rent ved en stadig cirkulation af luf­ten gennem Hepa filtre, som tilbageholder partiklerne i luften. Kemiudsugningen varetages af et antal ven­ti­la­torer, der alle er med  tryk/flow overvågning i kanal­sys­temet og udført redundant med som minimum to motorer/styringer. Alle systemer er forbundet til en UPS forsyning, der sikrer ca. 45 min. drift i tilfælde af strømsvigt. Derudover er ventilationen CTS-overvåget og forbundet di­rekte med Schneider Electric. Alle systemer overvåges løbende og i tilfælde af driftssvigt alarmeres folk i renrummet ved hjælp af en alarm (lyd og lys); brugere af renrummet er gennem et sikkerhedskursus instrueret i, hvordan de skal reagere på alarmen. Renrummets ven­tila­tions­an­svarlige vil samtidig blive sat til at undersøge år­sagen til svigt. Hvis alarmen aktiveres uden for normal arbejdstid kontaktes vagten (se listen over kontaktpersoner sidst i dette dokument)

 

3)      Kemikalieopbevaring

Kemikalieopbevaringsskabe og køleskabe i renrummet indeholdende brandfarlige kemikalier er al­le tilkoblet udluftningssystemet og er altid lukkede. Skulle udsugningen svigte, vil udsiv­nin­gen fra kø­le- og opbevaringsskabe være minimal.

 

I kælderen er der et rum til kemikalieopbevaring og et rum til kemikalieaffald. Affaldsdunkene med kemikalieaffald er placeres i en lukket spændelågstønde. Der er udsugning på rummene, som kører sam­men med resten af udsugningssystemet.

 

CVD og DRIE/Pegasus - anlæggene har tilsluttet brint, siliciumtetrafluorid, svovlhexafluorid, tri­me­thylbor, Methan, argon, silane, fosfin i silan, karbondioxid, helium, ilt, nitro­gen­mo­no­oxid, og tetrafluomethan, som alle er tilkoblet en scrubber. Alle gasledninger/tilslutninger er over­vå­get af sensorer fra Honeywell Gasalarm. I tilfælde af gasudslip vil det medføre nedlukning af CVD/DRIE og lukning for alle gastilledninger. CVD og DRIE/Pegasus, har hver deres scrubber. Alle anlæg er CE og EX godkendte. Ved nedlukning gennemskylles udstyret med nitrogen; det sker og­så før vedligeholdelsesarbejde. Efter brug passerer gasserne gennem pumpe og scrubber, hvor­­ef­ter de ledes ud over taget på renrumsbygningen. Der er installeret en anordning, der for­hin­drer til­ba­ge­løb.

 

4)    Vådbænken

Vådbænken har underskabe med godkendt udsugningssystem. I tilfælde af udsugningssvigt vil der kun være en ringe sandsynlighed for at dampe siver ud.

 

5)    Gassystem

Alle giftige/brandbare gasser er ført i dobbeltrør med overvåget vakuum i yderrør. Gasrør er ført fra gas­bunkeren til brugssted i renrummet. Både dobbeltrør og brugssted er overvåget af gas­sen­so­­rer. Va­ku­umsystemet til dobbeltrør er udført med backuppumpe. Brandbare gasser er op­be­va­ret i en EX sik­ret gasbunker og i EX sikret skabe med selvstændigt overvåget ventilation-gas­over­­våg­ningssystem (fra Honey Well). I tilfælde af udsugningssvigt i renrummet, eller at en gas­sensor detekterer et gas­ni­ve­au, der er over det tilladte, lukkes der automatisk for gasserne. Der lukkes også for alle gasser, når brand­alarmen eller evakueringsalarmen aktiveres. 

 

6)    Stinkskabe

For at sikre at udsugningen fra stinkskabene fungerer tilfredsstillende, er der monteret en dif­fe­rens­tryk –  indikator, som lyser grønt, når skabet virker, som det skal. Når lågen for eksempel kommer for højt op, lyser indikatoren rødt, som indikerer, at udsugningen er utilstrækkelig. Høj hastighed er of­te påkrævet.

 

7)    Alarmer

Ved RØD alarm (lydsignal+ rød blink) kommer der besked over højtalersystemet på dansk/en­gelsk om at forlade rummet straks ad nærmeste udgang, og brandvæsenet kontaktes automatisk. Ved GUL alarm (lydsignal + gult blink) forlades rummet også straks, men gennem omklæd­nings­rummet, og nedenstående personer kontaktes af de tilstedeværende:

 

Driftinspektør: Ove Fjorside tlf: 8715 2248/28992013

Daglig sikkerhedsleder: Morten Foss, tlf: 2338 2091

Sikkerheds repræsentant: Pia Bomholt Jensen, tlf:2338 2114

 

Århus brandvæsen har følgende kontaktpersoner til ABA (Automatisk BrandAlarm) anlæg­get nr. 404, (dette nr. skal oplyses til brandvæsenet ved kontakt)  iNano, bygning 1591, Gustav Wieds Vej 14:

Tonni Larsen                 tlf:                 51778766

Niels Christensen                               28992018     

Benny Sørensen                                  28992014

Peter Kitler                                         23433863

Ove Fjordside                                    28992013

Morten Foss                                       23382091

Jørgen Kjems                                      28992086

Bent Lorenzen                                    28992217